EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT427M

EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT427M

渦輪分子泵是一種高真空泵，利用高速旋轉的渦輪葉片與氣體分子碰撞，將氣體分子從進氣口推向排氣口，從而實現(xiàn)高真空的獲取。它由德國物理學家貝克（W. Becker）于1958年發(fā)明，是現(xiàn)代高真空和高真空技術中的核心設備。渦輪分子泵通常與前置泵（如干式泵或旋片泵）結合使用，以在寬壓力范圍內實現(xiàn)高效抽氣。

應用領域

半導體制造：在半導體生產過程中，渦輪分子泵用于光刻、薄膜沉積、離子注入和蝕刻等工藝，提供高潔凈度的真空環(huán)境。

科學研究：在粒子加速器、核聚變實驗、表面物理和材料科學等領域，渦輪分子泵用于實現(xiàn)高真空環(huán)境。

航空航天：用于模擬太空環(huán)境，測試航天器部件在真空條件下的性能。

光學鍍膜：在光學鏡片、濾光片和激光元件的鍍膜工藝中，渦輪分子泵提供無污染的真空條件。

分析儀器：用于質譜儀、電子顯微鏡和同步輻射裝置等精密儀器中，確保高真空環(huán)境的穩(wěn)定性。

醫(yī)療設備：在放射性同位素生產和醫(yī)療成像設備中，渦輪分子泵用于維持高真空環(huán)境。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工業(yè)設備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術積淀，荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎設施提供創(chuàng)新解決方案”為使命，業(yè)務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環(huán)保設備及能源系統(tǒng)等領域，產品以高可靠性、節(jié)能性和*技術聞名全球。
核心業(yè)務與技術優(yōu)勢
荏原的核心產品包括：
流體機械：全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案，廣泛應用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領域，其高效節(jié)能設計顯著降低碳排放。
環(huán)境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術，助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設備：蒸汽輪機、燃氣壓縮機等產品服務于石油、化工及新能源產業(yè)。
半導體制造設備：高純度真空泵等產品支撐電子行業(yè)精密制造。